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Intel FAB68 WFPS 출하식
당사는 시스템반도체 중심 글로벌 기업인 INTEL社 FAB68에 WATER FREE PLASMA SCRUBBER DEMO를 성공적으로 마치고 정식 오더를 수주하여 드디어 출하를 하였습니다. 뛰어난 기술력과 안정적인 품질로 국내를 뛰어 넘어 글로벌 마켓에서도 당당히 이름을 떨치는 GnBS Enginnering이 되겠사오니 끊임 없는 관심과...
- Plasma Dry Scrubber
- Plasma 와 촉매를 이용한 폐수 발생 없는 처리장치
- 친 환경적 대용량 가스 처리 장치
강력한 Plasma를 이용한 높은 PFCs 가스 분해 효율
저 전력 고 효율의 처리 장치
폐수가 발생하지 않는 친환경 Solution
경제적인 운영 비용
- Trap
- 물성 변화를 통한 파우더 형성 및 포집 장치
- 공정 Gas에 의한 Pump Trip 방지
Pump Lifetime 증대
Back Stream에 의한 Chamber 오염 방지
Wafer 생산량 증대
Heating Jacket 제거 및 Pipe Coating 제거로 비용 절감 가능
배관 막힘 방지 효과
- Plasma Scrubber
- 3000℃ 이상의 고온의 Arc Plasma를 이용한 가연성, 독성, PFCs 가스 처리 장치
- 저 전력 고 효율의 Thermal Plasma technology 접목
완벽한 PFCs Gas 처리 능력
Fog 및 E.P를 도입한 탁원한 By-Product Control
Long Torch Lifetime 구현
부식 방지를 위한 특수 재질 및 코팅 채용
- Hybrid Scrubber
- MOCVD 공정을 위한 대량의 H2 및 NH3등 가연성 가스 처리 장치
- 폭발 위험 없는 안정적 운영
직접 연소와 간접 연소를 접목한 Hybrid Technology
완전 연소 구현으로 폐수 발생 없음
완벽한 T/N Control solution
저렴한 운영 비용
- Thermal Scrubber
- Semi / PV / LCD / LED와 같은 범 적용성 공정용 장비
- 고장 없는 안정적 운영
고 효율의 Cartridige type Heater 적용
간편한 교체 및 유지 보수
Powder Trouble 방지 특화 디자인
저렴한 운영비용
- Burner Scrubber
- LNG를 이용한 폐 가스 처리 장치
- 안정적인 화염 유지
1300℃ 이상의 화염을 통한 탁월한 Gas 처리 능력
Gas 누출 및 화염 감지를 통한 운영 안정성 확보
부식 방지를 위한 특화 재질 및 코팅 접목
- Dry Scrubber
- 흡착제의 화학적 반응을 이용한 가스 처리 장치
- 탁월한 유해 가스 처리 능력
저렴한 운영 비용
흡착제 교체 및 유지 보수 용이
안정적인 운영
폐수 발생 없음
Self-Backup System
- Wet Scrubber
- NH3, Cl2, F2, HCl, HF와 같은 수용성 가스 처리장치
- 집중적 물 분사를 통한 수용 효율 극대화
부식 방지 재질 적용
별도의 부품 소모가 없는 저렴한 운영
- 전자증권 전환대상 주권 권리자 보호 및 조치...2021.04.23
- 2020년 제15기 정기주주총회 소집통보서2020.03.04
- 2019년 제14기 정기주주총회 소집통보서2019.03.05
- 2018년 제13기 정기주주총회 소집통보서2018.03.05
- 2017년 제12기 정기주주총회 소집통보서2017.03.06
- 임시 주주총회 소집공고2016.06.10
