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전자신문_당사 무폐수 스크러버 CES SK그룹에서 전시
전자신문 링크 : https://n.news.naver.com/article/030/0002992924?lfrom=kakao SK 친환경 반도체 전략 첫 줄에 이름 올린 中企 지앤비에스 '무폐수 스크러버' 공동 개발...CES 2022서 전시친환경 반도체 공정 장비에 대한 벤처투자업계의 관심이 커지고 있다. S...
- Plasma Dry Scrubber
- Plasma 와 촉매를 이용한 폐수 발생 없는 처리장치
- 친 환경적 대용량 가스 처리 장치
강력한 Plasma를 이용한 높은 PFCs 가스 분해 효율
저 전력 고 효율의 처리 장치
폐수가 발생하지 않는 친환경 Solution
경제적인 운영 비용
- Trap
- 물성 변화를 통한 파우더 형성 및 포집 장치
- 공정 Gas에 의한 Pump Trip 방지
Pump Lifetime 증대
Back Stream에 의한 Chamber 오염 방지
Wafer 생산량 증대
Heating Jacket 제거 및 Pipe Coating 제거로 비용 절감 가능
배관 막힘 방지 효과
- Plasma Scrubber
- 3000℃ 이상의 고온의 Arc Plasma를 이용한 가연성, 독성, PFCs 가스 처리 장치
- 저 전력 고 효율의 Thermal Plasma technology 접목
완벽한 PFCs Gas 처리 능력
Fog 및 E.P를 도입한 탁원한 By-Product Control
Long Torch Lifetime 구현
부식 방지를 위한 특수 재질 및 코팅 채용
- Hybrid Scrubber
- MOCVD 공정을 위한 대량의 H2 및 NH3등 가연성 가스 처리 장치
- 폭발 위험 없는 안정적 운영
직접 연소와 간접 연소를 접목한 Hybrid Technology
완전 연소 구현으로 폐수 발생 없음
완벽한 T/N Control solution
저렴한 운영 비용
- Thermal Scrubber
- Semi / PV / LCD / LED와 같은 범 적용성 공정용 장비
- 고장 없는 안정적 운영
고 효율의 Cartridige type Heater 적용
간편한 교체 및 유지 보수
Powder Trouble 방지 특화 디자인
저렴한 운영비용
- Burner Scrubber
- LNG를 이용한 폐 가스 처리 장치
- 안정적인 화염 유지
1300℃ 이상의 화염을 통한 탁월한 Gas 처리 능력
Gas 누출 및 화염 감지를 통한 운영 안정성 확보
부식 방지를 위한 특화 재질 및 코팅 접목
- Dry Scrubber
- 흡착제의 화학적 반응을 이용한 가스 처리 장치
- 탁월한 유해 가스 처리 능력
저렴한 운영 비용
흡착제 교체 및 유지 보수 용이
안정적인 운영
폐수 발생 없음
Self-Backup System
- Wet Scrubber
- NH3, Cl2, F2, HCl, HF와 같은 수용성 가스 처리장치
- 집중적 물 분사를 통한 수용 효율 극대화
부식 방지 재질 적용
별도의 부품 소모가 없는 저렴한 운영
- 주식 명의개서 정지 공고2021.12.13
- 지앤비에스엔지니어링 내부정보관리 규정2021.12.08
- ㈜지앤비에스엔지니어링 코스닥시장 상장 주식공...2021.10.18
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- 2020년 제15기 정기주주총회 소집통보서2020.03.04
- 2019년 제14기 정기주주총회 소집통보서2019.03.05
